深圳屹(yi)誠機電設(she)備有(you)限公(gong)司
400熱(re)線:400-825-8282
聯系人:羅群(qun)東(dong)(銷售部 銷售經(jing)理)
電 話:0755 89368793
手(shou) 機:17727986465
傳 真:86 0755 89371793
電(dian) 話:0755-89368793
網 址:www.dianzitianping.cn
地 址(zhi):深圳市寶安區(qu)石巖(yan)街道塘頭(tou)社區(qu)松(song)白路三聯工業(ye)區(qu)同高(gao)廠房(fang)2棟2121
SMC最新(xin)推(tui)出了一(yi)款平行密(mi)封型門閥XGTP系列。產品采(cai)用平行密(mi)封結(jie)構,可對應300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工(gong)藝腔室(shi)與傳(chuan)輸腔室(shi)之間的密(mi)封。
產品參數
???◇ 長(chang)壽命:300萬次(常溫時(shi))
???◇ 低發塵:發塵(chen)量減少到1/5以下(與(yu)舊(jiu)型號相比)
???◇ 省氣:耗氣量減少22%
???◇ 輕量:14kg(盒式)
???◇ 工作窗尺寸:50mm X 336mm
平行密封構造
▼門上(shang)升、下降的(de)直線動作(zuo)和(he)門開閉的(de)夾緊采(cai)用(yong)平行密封(L motion)構造,降低了摩擦系數,可大幅減少發塵量并延長使用壽(shou)命。
應用場合 ▼半導體(ti)加工過程中,針對各工藝腔室之間(jian)的隔離(li)。