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平行密封型門閥XGTP系列

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平行密封型門閥XGTP系列

發布日期:2020-07-08 作者:屹誠(cheng) 點擊:


SMC最新(xin)推(tui)出了一(yi)款平行密(mi)封型門閥XGTP系列。產品采(cai)用平行密(mi)封結(jie)構,可對應300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工(gong)藝腔室(shi)與傳(chuan)輸腔室(shi)之間的密(mi)封。


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產品參數

???◇ 長(chang)壽命:300萬次(常溫時(shi))

???◇ 低發塵:發塵(chen)量減少到1/5以下(與(yu)舊(jiu)型號相比)

???◇ 省氣:耗氣量減少22%

???◇ 輕量:14kg(盒式)

???◇ 工作窗尺寸:50mm X 336mm

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平行密封構造

門上(shang)升、下降的(de)直線動作(zuo)和(he)門開閉的(de)夾緊采(cai)用(yong)平行密封(L motion)構造,降低了摩擦系數,可大幅減少發塵量并延長使用壽(shou)命

1562555006506930.gif


應用場合

半導體(ti)加工過程中,針對各工藝腔室之間(jian)的隔離(li)。

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